平面平晶

二、技術(shù)參數(shù)
三. 按JJG_28-2000標準
1. 平晶精度:1級
2. 平面度誤差:
直徑 30mm~60mm 0.03μm 直徑 80mm~150mm 0.05μm
直徑 200mm~300mm 0.06μm 直徑 300mm~600mm 0.08μm
直徑 700-1000mm 精度定制 (直徑300mm~1000mm的平晶 平面度誤差均可以按照非標定制,精度可調(diào))
3. 平行度誤差:Ⅰ級 0.6μm
4. 平晶的材料:A級 光學K9玻璃 檢驗標準 (GB 903-1987 無色光學玻璃)
5. 平晶必須放置在(20士5)℃和濕度不大于80 % RH的檢定室內(nèi)進行等溫,等溫時間不少于8h
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